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mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고
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Micro-Electro-Mechanical-System)그 자체 로부터 알 수 있듯이 수 100micron이하의 크기를 갖고(micro), 전기, 전자적인 구동특성을 가지며(electro), 기계적 움직임 또는 성능을 갖는 시스템이라 할 수 있다. 실제로 MEMS의 개념은 기계, 전기, 광학, 열, magnetic,
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coil and put it on surface of glass. 1. Objective
2. Introduction & Background
(Introduction)
Background
1)MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)
2) MEMS Fabrication Processing
3. Appartus & Reagents
4. Procedure
1) Cleaning Process
2) Lithography Process
3) Assemb
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Micro-Electro Mechanical System)를 활용하여 구조물의 거동을 파악하기 위한 원천 기술 개발 에도 지대한 관심을 가지고 연구를 진행하여 가시적인 성과를 거두고 있는 실정임. 이와 같은 연구개발은 관련 핵심기술(core technology)의 급속한 진전 즉, 소
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마이크로 프로세서 (micro processor)등의 실리콘 소자 뿐만 아니라 화합물 소자나 thin film disk head, ink jet printer head 그리고 LCD 및 MEMS(micro-electro-mechanical system) 등을 만들기 위한 매우 중요한 기술이다. 특히 리소그래피 공정은 전체 반도체 제조 공
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Micro-Electro-Mechanical Systems : 극미세 전자기계 시스템이라고도 하고, 반도체를 만드는 공정과 비슷하게 눈으로 보이지 않은 아주 작은 단계에서 전기소자적인 작용과 기계적인 작용을 동시에 하게 만든 극초소형 시스템을 뜻합니다.)에 적용하
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