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이러한 조건으로 소자를 만든다면 전기적으로 우수한 이상적인 MOS Capacitor를 제조할 수 있다. 1. 실험목적-------------------2
2. 관련이론-------------------2
3. 실험방법-------------------3
4. 실험결과-------------------4
5. 고 찰-------------------8
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을 도모해야한다.
#%참고 자료
- “실리콘 나노 결정 Floating gate 1.5μm NMOS 비휘발성 메모리 소자의 제작 및 특성 연구” 한규일(경희대학교 대학원 석사학위 논문)
- “낸드 플래시 메모리 소자의 제조방법에 대한 특허 조사”
성균관대학교 정
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소자에 세라믹 혹은 플라스틱(특수 Molding용 수지)으로 봉인하는 공정을 패키징 이라고 하며 일반적으로 Molding 이라고 부른다.
이렇게 함으로써 하나의 소자 특성을 갖는 칩이 완성되게 되게 된다.
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주요 반도체 관련 회사 : wafer 제조/chip 제
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공정 후 가공품기계에 사용되는 부품
선삭과 면삭으로 가공된 제품들은 적살유가 묻어져 있으므로 세척을 한다. 세척을 한 다음 도금 작업을 하는데 이는 전기적 특성의 이유로 매우 중요한 작업이다.
도금이 완료된 가공품
3) 생산 제품 조
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다.
<그림 1-20.1 PLD 기본원리>
◎ 참고문헌 : 반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 없음
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