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Secondary Electron, 이하 SE) 혹은 후방산란전자(Back Scattered Electron, 이하 BSE)를 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 장비이다.
주사전자현미경 SEM
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◎ 원 리
투과형과 같이 시료전체에 전자
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electron beam을 표본의 표면에 주사한다(전자발생원(electron source)으로부터 전자선을 조사할 때 후방 산란 전자(back scattered electron), 2차 전자(secondary electron), X선, 음극 형광 등이 발생된다). 주사된 전자선이 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만
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Secondary Electron Emission
3. Three regions
3.1 Cathode Region
3.2 Anode Region
3.3 Glow Region
4. Paschen’s law
Ⅲ. RF Discharge
1. Needs for RF
1.1 why not DC
1.2 Efficiency of RF discharge
1.3 13.56 MHz RF
2. Self Bias of RF electrodes
3. Matching Networks
4. Symmetrical and As
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rgy state에 있게 되어 secondary electron의 방출이 다른 곳보다 많다. 그 결과 SEM image에서 grainboundary는 밝게(흰색)으로 나타난다.
(2) 배율의 차이
SEM은 전자가 시편을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선 electron beam을 표본의 표면에 주
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Electron Microscope)
1. SEM이란?
2. SEM의 개발 역사
3. SEM의 작동 원리
4. SEM의 구성
① 전자광학계(Electrical optical system)
② 시료실(Specimen stage)
③ 검출기(Secondary electron(SE) detector)
④ 배기계(Vacuum system)
⑤ 전기계(Electronics)
5. SEM의 분해능
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electronic oscillator. It is so named because early mechanical AC to DC converters were made to work in reverse, and thus were "inverted", to convert DC to AC.
The inverter performs the opposite function of a rectifier.
3) Possible Problem of Rectifier and Inverter and solution
- 고조파 발생.
고조파
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