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이미지 1. SEM image의 생성 원리에 대해서 설명하시오.
2. 관찰시 어떤 sample은 charging 현상이 일어난다. 이러한 현상이 일어나는 이유는 무엇이고, 문제점을 해결하기 위해선 어떤 조치를 취할수 있는가?
3. OM과 SEM의 image를 보고 차이점을
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SEM의 분해능(resolution)
● SEM의 영상의 종류
● SEM의 배율과 초점심도
● 전자빔과 시편과의 상호작용
● 투과전자현미경(Transmision Electron Microscopy)
● 광학현미경과 전자현미경의 illumination system의 비교
● 명시야상 (Bright-Field Image)
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SEM은 본체부와 전기계부로 구성되어 있다
SEM은 광원과 수렴렌즈, 대물렌즈로 구성되며, 시료의 표면에서 반사된 빛을 사용하여 영상을 만드는 전체적인 구성은 광학현미경과 유사하다. 차이점은 가시광선 대신에 가속전자빔을 광원으로 하
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차이점 SEM(Scanning Electron microscopy : 주사전자현미경)
1. 구 조
2. 전자선의 발생 원리
3. SE(Secondary Electron)와 BSE(Backscattered Eletron)의 차이와 장단점
4. 가속전압과 Image와의 관계
5. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer), WDS(Wavelengths Dispersive
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SEM
Introduction
OM vs SEM
Principle
Instrument
Electron gun
Electromagnetic lens
Sample preparation
Detector
Analysis
Resolution, Depth of field
Imaging mode
Example
EDS, WDS, EBIC, EBSD
XPS
Introduction
Principle
Instrument
X-ray source
Electron energy analyzers
Detector
Sa
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