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이는 WDS와 EDS의 차이점은 간단히 말해 여기된 전자를 분석하는 방법에 있다 하겠다. WDS는 여기된 전자의 파장을 읽어내는 것이다. 입사된 전자에 의해 튕겨 나온 기존의 shell의 전자가 이미지를 형성하는 반면 그에 따른 단결정과 검출기의 위
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WDS
EDS
X선 분해능
5-10eV
150eV
Peak의 중복
적 음
많 음
정성분석의 속도
느림(약 15분정도)
빠름(약 1분정도)
정성분석의 정확성
정 확 함
비교적 정확
정량분석의 속도
느림 (약10분정도)
빠름(약2분정도)
검 출 기 구
Spectrometer + counter
Solid state detect
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EDS 또는 WDS)를 장착할 경우 마이크로미터 크기의 미세한 부분에서의 성분분석을 겸할 수 있어서 대상물에 대한 영상정보 뿐만 아니라 화학정보도 얻을 수 있다.우선 SEM의 작동원리에 대해 알아보겠다. SEM은 그 구조가 오른쪽 그림에서 보는
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EDS로 분석하는 효율도 감소하기 때문에 원자번호가 작은 경우에 정확한 분석이 어렵다.
일반적으로 EDS의 분해능은 약 150 - 160 eV로서 때로는 peak들이 서로 중첩되어 정확한 정량분석이 어려울 경우도 있다. 이를 극복하기 위하여 WDS(Wavelength Dis
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WDS (Wavelength dispersive X-ray Spectrometer)와 EDS (Energy dispersive X-ray Spectrometer) 두 종류가 있다. EDS는 대부분의 SEM에도 쉽게 부착할 수 있으며, 분석이 쉽고 빠르지만 정확성과 분해능이 떨어지며 함량이 적은 원소는 분석하기가 힘들다. 반면, WDS는 분
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