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BLT의 공정과정을 통해서 많은 실험장비의 사용법을 알수있었고, 각 시료에 온도의 변화만을 주어도 물질의 특성이 판이하게 변한다는 점을 알았다. 아쉬운점은 짧은시간으로 인해서 몇몇 공정과정은 학부생들이 직접실습을 못한점이다.
6.
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공정
아이티씨 배철훈
목차
1. 서론
2. 강유전체의 기본적 성질
2-1. 변위형 강유전체
2-2. 질서-무질서형 강유전체
3. 강유전체의 기원
4. 세라믹스 BaTiO₃강유전체
4-1. 기본적 성질
4-2. BaTiO₃고용체
4-3. Perovskite polytype
5. 유전손실의 기원
5-1. 분
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공정을 이용한 강유전체 SBT 박막의 제조기술에 관한 연구 - 고려대학교 재료공학과
○ 위 논문을 읽고 참고하였는데 SBT 박막을 660~780℃까지를 40℃ 간격으로 열처리한 자료를 토대로 생각을 하면 780℃에서 가장 큰 강자성 이력곡선을 나타냈
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참고문헌
● 네이버 지식 - 재료과학과 공학
● 한국 세라믹 학회지 1990년 27권 1호
● 한국 세라믹 학화지 2003년 40권 1호
● 물리학과 첨단세계 2005년 10월 ■ 박막 제조 공정
펌프종류
● Sputtering의 종류
PVD
CVD
유전체란
강유전체란
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다.
<그림 1-20.1 PLD 기본원리>
◎ 참고문헌 : 반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 없음
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