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I. Low k Material
(1) What Is the Low k Material?
- Dielectric constant(유전상수) k 가 낮은 물질
▶ Dielectric constant(κ) – 재료의 Electric Polarization 에 대한 물리적 척도
Ex) Vacuum (or Air) : k=1 , SiO2 : k=4, Diamond : k=5.5-6.6
▶ 전기적 분극(Electric Polarization) –
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K를 비동기적으로 구성하는 방법은?
CLK에 신호를 주지 않고 구성하고, 와 을 이용하여 구동시킨다.
2-b) J-K를 동기적으로 구성하는 방법은?
CLK에 신호를 주고 구성하고, 와 를 High로 놓아 비활성화 시킨다.
3) J=K=Low, ==High 일 때 J-K F/F의 출력에
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k 응용)이고 나머지가 interlevel dielectric material (ILD:Low-k 응용)
① capacitor dielectric material
소자의 조밀도가 증가함에 따라 pattern size는 감소하게 되고 이에 따라 capacitor에서 capacitor 값은 점점 감소하게 된다.
C = Q / V = A / d
* A(= 단면적 = L*w), d(= 두
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Low-K Dielectrics in 65nm High Volume Manufacturing” Electronic Components and Technology Conference, 2006. Proceedings. 56th, 30 May-2 June 2006 Page(s):1611 - 1615, Digital Object Identifier 10.1109/ECTC.2006.1645872
[9] Fung, S.K.H, Huang, H.T, Cheng, S.M, “65nm CMOS high speed, general purpose a
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http://cafe.naver.com/2sadfsdfa.cafe?iframe_url=/ArticleRead.nhn%3Farticleid=6
http://cafe.naver.com/planmagazine.cafe?iframe_url=/ArticleRead.nhn%3Farticleid=3973
http://www.lgeri.com/uploadFiles/ko/pdf/man/표지_실패에서_배운다_K마트의_몰락과_월_마트의_성공_20040213164517.pdf 등 참조
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