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반도체의 정의 3
2. 반도체의 원리 3
3. 반도체의 종류
①불순물양에 따라 5
②다이오드 6
③트랜지스터 10
④I.C(Integrated Circuit : 집적회로) 12
4. 반도체의 제조공정 15
5. 반도체의 응용분야
①나노복합재료를 이용한 태양전지 22
②나노입자 태양
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공정
화학기상증착 공정이란?
CVD 공정의 유형들
APCVD (Atmospheric Dressure CVD)
LPCVD (Low Pressure CVD)
PECVD (Plasma Enhanced CVD)
IC제조에 있어 주된 CVD 공정들의 예
CVD 방법의 장점
CHIP Package 종류와 두께
LEAD 삽입형 IC Package
표면실장형 IC Pack
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제조
콘크리트냉각
토양동결
금속정밀가공
기타
산소
제철.제강
용접.절단.표면강화
산소버너
큐폴라.단조로.유리용해로
로타리 킬른의 산소부화
석유화학
로켓트 조연제
반도체제조공정
의료용
폐수처리.양어장
펄프표백 등
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제조를 위한 반도체공정 및 장치 기술 , 이형옥 저, 상학당
박막공정의 기초, 최시영 외 공저, 일진사
나. 논문
최근의 대체세정제와 대체세정기술, 배재흠, 수원대학교 화공생명공학과
다. 기사
Vapor Phase Cleaning : How It Works and What Can Go Wrong by
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막 형성공정
1. 막 형성공정은?
1. 막 형성공정은?
반도체 소자 제작에 많이 사용되는 박막은 열적 성장이나 물리적 증착, 혹은 화학 반응에 의해 증착되는 금속, 반도체, 부도체의 얇은 층을 말한다.
박막 제조의 대표적인 4
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