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펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에 의해 결정되는데 이때의 관계식은 다음과 같다.
(SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)
(2) Turbo molecular pump [터보 분자 펌프
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1.0133×105×1.450×10-4=14.69285psi
○ 참고문헌
1. 진공공학 p.153～219 < 저자 배석희외 2명 - 출판사 : 한국경제신문>
2. 진공의 기본지식의 이해 - http://blog.naver.com/r741234/120021884038
3. 진공펌프의 기초이론 - http://hanvacuum.co.kr/vacuum%20data/v-the2.htm
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펌프, 양수관을 액 속에 넣고 하단에서 압축공기를 불어넣어 액체와 공기의 혼합물을 만들고 평균비중을 작게 하여 물을 양수하는 기포(氣泡)펌프 등이 있다. 1. 왕복펌프
2. 로터리펌프
3. 원심펌프
4. 축류펌프
5. 마찰펌프
6. 연료펌프
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다.
(SMP: 로터리펌프 배기 속도, SDP: 오일펌프 배기속도, PMP: 배출구압력, PDP: 흡입구압력)
- 박 막(thin film)이란-
기계가공으로 실현 불가능한 두께 um이하의 엷은 막.
수면의 기름 막, 비누 방울이 아롱진 막, 금속 표면의 녹, 함석 ·생철의 아연
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헬륨온도 에서는 헬륨이외의 모든 가스가 응축된다.즉 펌프가 되는 것이다.
일반적으로 크라이오 펌프에서는 차콜이라 불리는 활성 탄을 덧붙이고 있다. 크라이오 펌프에서는 액체헬륨 혹은 약간 온도가 높은 헬륨가스 로 냉각하고 있으며
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