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- RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 AlN 박막의 증착 특성 - 한국세라믹기술원 나노IT소재팀 , 한양대학교 신소재공학과
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재료가 만들어 졌다는 것을 알 수 있다.
또 보고서를 작성하면서 여러 자료들을 보고 알게된 사실인데 박막 증착시의 실험 조건들, 즉 Base pressure나 타겟의 조성비, 기판과 타겟과의 거리, 증착시의 온도 등에 따라 박막 증착의 결과 가 다르게
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및 어닐링(Annealing)
박막 증착의 기술 및 공정
- 개요
1. 기화법 (Evaporation)
2. 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition)
(1) CVD 장치
(2) 박막 성장 메커니즘
3. 스퍼터 증착(Sputter deposition)
(1) 스퍼터링의 정의
(2).스퍼터링의 종류
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재료 연구센터. Ⅰ. 서 론
II. 이론적 배경
1. Sputtering의 원리 및 특징
2. 자기저항의 분류
3. 강자성(ferromagnetic) 박막에서의 비등방 자기저항(AMR) 효과의 현상론적 이론
4. 광 자 기 효 과
Ⅲ. 실 험 방 법
1. 박막의 제작
2. XRD에 의한
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박막 및 그 제조방법
- MOD법에 의한 ITO 투명전도성 박막의 제조
- 화학기상증착법에 의한 ＩＴＯ박막 제조방법
- 원자층 증착법에 의한 ITO 박막 제조방법 및 인듐 박막 제조방법
- 표면 개질된 인듐 주석 산화물층 및 유기 전계 발광
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재료)+ 산요(저온poly-TFT)+일본진공기술(박막제조기술)
Pioneer
Pioneer(양산 경험)+샤프, SEL(저온 poly-TFT)
ELDIS 설립
소니
소니(저온 poly-TFT)+토요다(수요자)
STLCD 설립
SNMD
삼성SDI(STN LCE)+NCE(기초기술)
고분자
세이코 제 1장 서 론
제 2장 기술동
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는 타겟 배면에 자석을 부착하여 전기장에 수직한 자기장을 형상함으로서 전자들의 운동을 타겟 주위로 구속하고 이동경로를 길게 함으로써 스퍼터링 효율을 높이는 것이 마그네트론 스퍼터링의 원리이다.
NiO 박막을 RF 마그네트론 스퍼터
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박막태양전지를 대량생산함으로써 상용전원과 경쟁 가능한 발전단가인 5～7￠/kWp의가격목표를 향하여 속도를 내고 있다.
마. 종래에는 각국이 태양전지의 재료와 성능개선 연구에 중점적으로 지원, 투자하였으나 최근에는 그간 개발된 기술
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재료기술, TFT-LCD의 설계 및 공정 기술”
- 김차연, “BLU 기술동향” 한국정보디스플레이학회지 제2권 제1호, 2001.2
- “인포메이션 디스플레이” 한국정보디스플레이학회지 제6권 제3호, 2005.6
- 전자신문 < http://www.etimesi.com>
- 기술연구소 Ray
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재료기술, TFT-LCD의 설계 및 공정 기술”
- 김차연, “BLU 기술동향” 한국정보디스플레이학회지 제2권 제1호, 2001.2
- “인포메이션 디스플레이” 한국정보디스플레이학회지 제6권 제3호, 2005.6
- 전자신문 < http://www.etimesi.com>
- 기술연구소 Ray
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박막을 증착하고 어닐링하여, Nanodot 형태의 응집 구조를 가지는 샘플을 제작하고 있습니다.
지난 학기에 새로운 타겟으로 은을 도입했습니다. 기판에 박막을 수 nm 두께로 조절하며 증착하기 때문에 초기에 초당 Deposition rate를 측정하여 확립
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재료공학개론과 재료전자 물성론, 자동차 재료공학, 그리고 현재 배우고 있는 박막재료를 바탕으로 현재 이슈 되고 있는 4차 산업혁명과 자율주행 측면에서 기업이 추구하는 목표에 도달할 수 있게 함께 성장할 수 있는 직원이 되기 위해 노
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박막 재료, 마이크로 힌지 설계 등 첨단 구조 설계 기술을 연구하고, 다양한 사용 환경에서도 안정적인 동작과 고급스러운 조작성, 신뢰성을 유지하는 구조를 구현하고자 합니다.
저는 기구개발이 단순한 기술 설계가 아니라 ‘사용자와 기술
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박막을 형성하는 것이 중요한 이슈가 되고 있습니다. 따라서, 제 전공역량을 발휘할 수 있는 동막공정에서 공정 이슈를 해결하고 균일한 생산을 이뤄내는 엔지니어가 되고자 합니다. 이에 필요한 역량을 다음과 같은 활동을 통해 길러왔습니
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수업을 듣고 수업 후에는 교수님이 만들어 주신 meeting에 참여해 왔습니다. 마지막으로 재료공학과 에서 반도체 공학, 박막공학, 광전자·디스플레이 등. 기본적인 과목들을 이수하여 전공분야의 실력을 키웠으며 또, 방학 중에는 CAD도 배웠습
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