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집적회로(Integrated Curcuit)기술 작성자 정석균
http://blog.naver.com/nanomate/110009231736
- 하이닉스|작성자 표
- [화성 = 김웅철 기자] < Copyright ⓒ 매일경제.> ♣ IC(집적회로)의 제작공정
1. 반도체 개요
2. 반도체의 제조
1) 웨이퍼 제조공정
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대하여, 참여연대
문형진(2010) : 삼성처럼 일하라, 더난출판사
편집부(2004) : 에너지연구소, 삼성전기 등, 대한전기학회
한국환경기술인연합회(2005) : 삼성전기 지속가능경영 현황
한국콘텐츠미디어 편집부(2012) : 삼성그룹 리포트, 한국콘텐츠
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개별적으로 취급할 수 없다.
◎ 참고문헌 : 반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 없음
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반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 2. 리소그래피(lithography)
1) 리소그래피란?
2) 리소그
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반도체는 특히 전자공학, 정보기술, 에너지 분야 등 다양한 산업에서 핵심 역할을 수행하며, 전자 부품의 기본 단위인 트랜지스터, 다이오드, 집적회로(IC) 등은 반도체 기술이 발전하면서 발전하였다. 전기 전도성은 불순물 도핑(doping)에 따라
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