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Making the Wafer
The process
-A seed crystal is suspended in a molten bath of silicon
-It is slowly pulled up and grows into an ingot of silicon
-The ingot is removed and ground down to diameter
-The end is cut off, then thin silicon wafers are sawn off (sliced) and polished
Epitaxy
The growt
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Processing for the VLSI Era,Lattice Press 1986 , pp.283
2. Stanley Middleman, K.Hochberg , Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication , Mc Graw-Hill,Inc., 1995, pp595
3. 윤현민, 이형기 , 반도체 공학, 복두출판사, 1995, pp.218
4. 김형열, 반도체 공정 및 측정 , 전자자료
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반도체 제조업체의 Fabrication 생산 글로벌화 과정: NEC/도시바/
삼성전자의 Fabrication Capacity Expansion Processes 비교 중심으
로,\" 한국과학기술원 석사논문, 1999.
조희연, \"우리나라 반도체산업의 국가경쟁력과 발전방안,\" 서강대학교 석사
논문, 1996
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장비의 사용목적과 쓰임을 안다
각 공정단계를 간편화 정밀화 함으로써 더욱 더 좋은 Quality 를 갖는 반도체 소자를 만들 수 있도록 연구 1. Objective
2. LED?
3. Theory Explanation
4. Fabrication process of LED
5. Equipment
6. Summary
7. Reference
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process
Tert-butanol, (tert-butyl alcohol (TBA), or 2-methyl-2-propanol (2M2P), hereinafter mentioned as TBA), is an important material as solvent, paint remover ingredient, and gasoline octane booster and oxygenate. It is a chemical intermediate used to produce MTBE and ETBE by reaction with
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