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분자와 분자유전자지도
Ⅴ. 분자와 분자빔법(분자빔 에픽터시)
1. MBE란
2. 요약
3. MBE의 특징
4. MBE 장치의 작동원리
1) Knudsen의 증발 방법
2) Cosine 법칙
Ⅵ. 분자와 분자궤도함수론
1. 결합과 반궤도 함수
1) 결합 궤도 함수(bonding orbital)
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법에는 스퍼터링(Sputtering), 전자빔증착법(E-beam evaporation), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법(PLD, Pulsed Laser Deposition) 등이 있다. 이 방법들이 공통적으로 PVD에 묶일 수 있는 이유는 증
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PVD의 정의
진공상태에서 화학반응을 유발시키지 않고 증착 시키려고 하는 물질을 Vaporized Atomic 형태로 Thin Film을 형성 하는 것을 의미.
PVD의 종류
스퍼터링, 전자빔증착법, 열증착법, 레이저분자빔증착법, 펄스레이저증착법등.
→ 증착 시키
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출현이 가능하게 되었다.
LED 성장기술
반도체 결정 성장기술은 반도체 발광소자를 제조하는 핵심기술로서 액상성장법( , 기상성장법, 유기금속화학 기상증착법 및 분자빔성장법 등이 LED 및 LD 양산에 사용되고 있다.
과거에는 LED 제작을 위
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빔 스퍼트링(Ion Beam Sputtering)
4.4.5. Bias Sputtering
4.5. 이온도금
4.6. 이온 빔 증착
5. CVD(Chemical Vapor Deposition)
5.1. LPCVD
5.2. PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
5.3. APCVD
6. 분자빔 결정법(MBE)
7. 박막 증착의 예
7.1. 실리콘 박막 트랜
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