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ALCVD : atomic layer chemical vapor deposition)
4) 전기도금 (EP : electroplating)
2. 화학 기상 증착 (CVD)
2. 화학 기상 증착 (CVD)
분류기준 : 반응 에너지원
이름 : Thermal CVD
특징 : 반응기에 주입된 반응기체의 분해 및 박막 증착
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ALCVD (Atomic Layer CVD)
APCVD (Atmospheric Dressure CVD)
◉ 고순도 고품질의 박막을 형성하는 기술로 저온에서 기화한 휘발성의 금속염(Vapor)과 고온에 가열된 도금할 고체와의 접촉으로 고온분해, 고온반응하고 여기에 광에너지를 조사시켜
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ALCVD)
3. PVD(physical vapor deposition)법
1) 진공증착(evaporation)
2) 스퍼터링(Sputtering)
3) 이온플레이팅(ion plating)
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