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것이다.
*리프트 오프(Lift-off)
- 기판에 PR을 입히고, 현상을 한 후, 스퍼터링을 사용하여 박막증착까지의 과정이 c이다. 여기에서 PR을 떼어 내는 과정을 리프트 오프라고 한다.
PR을 산화용액, 즉 Solvent를 사용하여 PR을 제거 하는 것이다. 이 과
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lift-off)
Plasma 세정 시에는 공정가스와 plasma 여기 방식에 따라 기판 표면이 개선되며, 스퍼터링을 이용한 건식 세정 방법은 오염 물질 외에 웨이퍼나 그 위에 덮혀있는 박막 자체도 함께 떨어져 나가는 것과, 일차적으로 이탈된 오염 물질이 다
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lift-off)
화염의종류
연료량
공기량
이론공기량
질량기준공연비
부피기준공연비
질량기준당량비
부피기준
당량비
lift-off
7
15
14
18.6
2.1
0.93
0.93
청염
7.5
15
15
17.4
2
1
1
적염
12.5
15
25
10.4
1.2
1.67
1.67
녹염
15
15
30
8.7
1
2
2
6. 고찰
일반적으로 관찰되는
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Wet etching?
액상의 식각 용액(보통 HF solution)에 웨이퍼를
넣어, 화학적 반응에 의해 표면을 식각해 내는 방법.
단점: 미세 가공이 어려움
식각의 불균일성
감광막의 lift-off
under cut 등등
Dry etching 이란?
일반적으로 플
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Lift-off)선 : 포장된 화물을 올렸다 내리는 방식
FOFO(Float-on Float-off) : 도저히 크레인 등으로 싣지 못하는 작은 선박이나 거대한 철구조물을 수송할 때는 화물을 물에 띄워 놓고 배 자신이 약간 가라않았다 뜨면서 들어올리는 선.
살물선(BULK CARR
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Lift-off 장비 : 6대
(3) Dry Etcher(6Inch) : 12대 ( Etcher: 8/Asher:4 ) (4) (2) IPA Swing Dryer(Cassette Type) : 6대(6Inch)
3) 6" Silicon MEMS 관련
-. Dry etcher(Sio2/Si3N4) :2대, Sputter(Au,Cu,Cr,Al): 2대, Spin track(2대_Sub)
-. Wet Station(KOH,Al Etch,유기/무기/산) : 10대
-. Chip Bonder
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