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함.
★ 금속과 반도체 간 일함수를 조정하여 쇼트키 장벽 낮춤
★ p 메탈의 경우 반도체의 일함수보다 높은 일함수를 갖은 메탈 선정 What is the TLM??
Ohmic contact
sheet resistance
contact resistance
specific resistance
TLM 이용법
CTLM??
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1.Objective
Growth 된 반도체 칩을 여러 공정을 통해 Fabrication 하여 I-V특성까지 파악.
각 공정에 쓰이는 장비의 사용목적과 쓰임을 안다
각 공정단계를 간편화 정밀화 함으로써 더욱 더 좋은 Quality 를 갖는 반도체 소자를 만들 수 있도록 연구&
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Ohmic contact 형성: 메탈을 증착 공정할 때 Contact resistance가 너무 높으면 잘 붙지 않는다. 이때 접합 면에 고농도로 도핑하게 되면 공핍층이 좁아져 터널링 현상이 발생.
④ Threshold voltage 조절: 반도체 소자마다 문턱전압 값을 조절할 수 있다.&nb
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Ohmic Polarization)26
- 농도 분극(Concentration Polarization)26
ㅇ분극 곡선(Polarization Curve)27
ㅇ분리판(Separator, Bipolar Plates)27
- 수지 함침 흑연판28
- 탄소 복합체 분리판28
- 금속 분리판28
ㅇ분산 발전(Distributed Generation)29
ㅇ비열(Specific heat)29
ㅇ
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Ohmic Contact와는 약간 다른 모습의 약간의 곡선형태를 띄는 Ohmic Contact을 얻을 수 있었다.
Schottky contact의 그래프와 다르게 Ohmic contact 그래프에서는 (+)전압과 (-)전압, 양쪽다 전류가 흐르는 것을 실험을 통해 확인 할 수 있었다. 이러한 현상이 나
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Contact과 Ohmic Contact 16
1. Schottky Contact 17
2. Ohmic Contact 20
제 5 절. Poole-Frenkel 효과 23
1. 두꺼운 절연체 (트랩 無) 23
2. 두꺼운 절연체 (트랩 有) 24
3. 두꺼운 절연체 (트랩 有 or 無 ) 25
제 6 절. Fowler-Nordhei
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