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of free atoms. In an interactions model of this type the parameters of the material are simply the atomic numbers and the concentrations of the respective atoms . 1. What are the main applications of soft lithography?
2. Identify and explain the factors affecting the resolution of electron bea
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), 알킬 체인의 몸체, 작용기인 terminal group(분자막의 기능 좌우)로 이루어져 있다. Self-Assembled Monolayer
What is SAM?
SAM 형성과정
Application of SAM
Surface engineering
유기박막트랜지스터
Soft Lithography
Nanoring
Reversibly switching surface
Biosensor
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Lithography ?
Photo Lithography는 Wafer위에 Photoresist를 도포한 후 Exposure에 의해 Mask를 이용하여 원하는 형상의
Pattern을 형성하는 공정
≪ 그 림 ≫
Photo 공정순서
공정순서
〔Wafer 세정〕
〔표면처리〕
〔PR 도포〕
〔Soft bake〕
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특징이 있어 Photolithography 공정에 이용된다. 1. 반도체 기판 세척 및 산화 공정
2. 감광액 도포 공정
3. SOFT BAKING
4. 노광 (EXPOSURE) 공정
5. 현상 (DEVEIOPMENT) 공정
6. HARD BAKING
7. 식각(ETHCHING) 공정
8. Photolithography와 Dip-Pen lithography
9. 용어설명
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리소그래피(lithography)
1) 리소그래피란?
2) 리소그래피 기술의 개요
3) 리소그래피 장치의 분류
4) 리소그래피 방법
① Photoresist coat (PR 코팅)
② Soft Bake(소프트 베이크)
③ Photo exposure(노광)
④ Develop(현상)
⑤ Hard bake(하드 베이크)
5) 향후의
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6_Flexible Display (고려대학교 권재홍, 정진
욱, 이영훈, 이원희) 1. 서 론
2. 이 론
1) PDMS (Polydimethylsiloxane)
2) Nano Transfer Printing
3) Decal Tranfer Lithography (DTL)
4) ITO (Indium Tin Oxide)
3. 실험방법
4. 결과 및 고찰
5. 결 론
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