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박막과 유전체를 결합한 TE01δ 모드 원통형 cavity 공진기의 마이크로파 특성에 대한 연구” 건국대학교 석사학위 청구 논문(2000).
[17] Hyun Kyung Han, Sang Young Lee, J. H. Lee, W. I. Yang, Sang-Geun Lee, Frequency Dependence of the Effective Surface Resistance of Thin YBa2Cu3O7
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금속이나 반도체 또는 절연물 등을 재료로 삼아 금속박막 ·반도체박막 ·절연박막 ·화합물 반도체박막 ·자성(磁性)박막 ·유전체(誘電體)박막 ·집적회로 ·초전도(超電導)박막 등이 진공 증착법(증기 건조법)을 위시하여 전기 도금법, 기체
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금속 (Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 다양한 유전체박막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비로 고융점에서 증착이 가능하고 증착속도가 바른 장점이 있다. E-beam Evaporator의 원리는 E-beam Source인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는 전자 beam을 전자석에 의
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금속박막(게이트)에 가해지면 입력과 접지사이에 전계가 형성되어 드레인과 소스 사이에서 마치 잘닥인 길을 만들어주어 출력전압이 나오잖아요. 입력 측과 접지측은 도선으로 연결된 것이 아니고 떨어져서 사이에는 유전체이니 거의 무한
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금속 배선재료로서의 Cu 막형성장치
로직 LSI 성능향상을 위한 저유전율 절연막 형성장치
강유전체 메모리 디바이스 관련 박막의 양산 레벌로 형성 가능한 장치
모두 다 양산 자치로서의 개발이 기대되고 있다. 디바이스 고집적화를 위해 다
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