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집적회로(Integrated Curcuit)기술 작성자 정석균
http://blog.naver.com/nanomate/110009231736
- 하이닉스|작성자 표
- [화성 = 김웅철 기자] < Copyright ⓒ 매일경제.> ♣ IC(집적회로)의 제작공정
1. 반도체 개요
2. 반도체의 제조
1) 웨이퍼 제조공정
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대하여, 참여연대
문형진(2010) : 삼성처럼 일하라, 더난출판사
편집부(2004) : 에너지연구소, 삼성전기 등, 대한전기학회
한국환경기술인연합회(2005) : 삼성전기 지속가능경영 현황
한국콘텐츠미디어 편집부(2012) : 삼성그룹 리포트, 한국콘텐츠
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개별적으로 취급할 수 없다.
◎ 참고문헌 : 반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 없음
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반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 2. 리소그래피(lithography)
1) 리소그래피란?
2) 리소그
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회로소자를 형성시켜서 소자들 사이에서의 전기적 결합이나 간섭작용을 막고 있다. 이와 같은 소자간의 전기적인 분리를 위하여 많은 고안이 이루어지고 있다.
혼성집적회로는 막(膜)집적회로에 반도체소자와 개별적 수동회로(受動回路) 부
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