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Capacitor
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p. 3
③ E-Beam의 구조와 증착원리
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p. 8
4. 실험 방법
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p. 9
5. 결과 예측
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p. 11
6. 결과 분석
···········
p. 12
① C-V 결과 분석
···········
p. 12
② I-V
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MOS capacitor의 Oxide층과 전류의 주파수를 변수로 하여 가해준 V에 따른 Capacitance, 누설전류값을 측정하고 분석하는 실험을 진행하였다. 우리조는 두께가 두꺼워질수록 Capacitance와 누설전류값이 모두 감소할 것이라고 예상했다. 예상대로 Capacitanc
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MOS fundamentals
1.1 Ideal MOS structure
1.2 Effect of an applied bias
1.3 Capacitance-voltage characteristics
1.3.1 Qualitative theory
1.3.2 C-V curve에 영향을 미치는 인자들
1.3.3 Deep depletion
2. Non-ideal MOS capacitors
2.1 Metal-semiconductor workfunction difference
2.2 Ox
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실험 결과로 보아 여기에서 이상적인 막의 두께는 200A로 볼 수 있다. 1.실험 목적
2.이론적 배경
MOS 캐패시터
1) 산화공정
2) CVD 공정
3) Photo 공정
4) PVD 공정)
3. 실험방법
4. 결과 및 고찰
1)C-V 그래프
2)I-V 그래프
3)결론
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Oxide/Metal/Oxide Structure
1-2) PET Film
[2] Instrument to measure
2-1) Thermal Evaporating System
2-2) UV-IR-visible Spectrophotometer
2-3) Confocal Scanning Laser Microscope
2-4) Two-point Resistance Probe Station
Ⅲ. Experiment
Ⅳ. Res
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