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SEM(Secondary Electron Microscope)의 개요-------- 7
- SEM의 원리 ----------------------------------------- 8
- 선원(線源) -------------------------------------------9
TEM(Transmission Electron Microscope)의 개요----- 10
- 초고압전자 현미경(超高壓電子顯微鏡)------------- 11
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SEM의 분해능(resolution)
● SEM의 영상의 종류
● SEM의 배율과 초점심도
● 전자빔과 시편과의 상호작용
● 투과전자현미경(Transmision Electron Microscopy)
● 광학현미경과 전자현미경의 illumination system의 비교
● 명시야상 (Bright-Field Image)
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SEM
Introduction
OM vs SEM
Principle
Instrument
Electron gun
Electromagnetic lens
Sample preparation
Detector
Analysis
Resolution, Depth of field
Imaging mode
Example
EDS, WDS, EBIC, EBSD
XPS
Introduction
Principle
Instrument
X-ray source
Electron energy analyzers
Detector
Sa
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SEM
◆ 전자현미경의 분해능
※ SEM의 구성
※ SEM의 분해능(resolution)
◆ 분해능
◆ 수차(Aberations)
◆ 초점심도(Depth of field)
※ 전자현미경(SEM)의 분류
※ 전자빔과 시편과의 상호작용
※ 작동원리
※ 2차전자의 발생
※ 2차전자 Detect
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field도 증가시킨다. 그렇지만 시료에 입사되는 전자들의 갯수를 제한시키므로 signal(즉 2차 전자의 수)이 감소하게 되는 단점이 있다.
6. SEM의 시편준비
모든 시료는 전도체라야 한다. 세라믹 같은 부도체의 경우는 1차전자의 전하가 표면에 쌓
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