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WHAT IS THIN FILM?
KIST Definition (1991)
- Thin Film : 기판층(substrate layer)에 형성된 수 m 이하의 두께를
갖는 것으로 독립적인 기능을 보유한 막.
ADVANTAGES OF THIN FILM
Complexibility and Accumulations
Easy processing
lm)
Easy Control of Thermal, Mechanical and Chemical Propert
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기상의 화합물을 도입하고, 가능한 증착 메커니즘으로부터 발생하는 화합물의 분해 과정을 거쳐 원하는 물질의 박막을 화학적으로 형성하는 방법이다. 이에 따라 전구체가 중요한 인자로 작용하므로 적합한 전구체 선정이 중요하고, 반응용
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증착되게 하는 것이다.
2) Thermal Evaporation으로 증착되는 발광재료에 대해 조사한다.
열 증착법은 저항가열식 기상증착법으로 불리며 이 방법은 고융점의 filamant, basket 또는 boat등의 열적 source가 필요하며, 특히 잘 쓰이고 있는 열적 source재료로
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증착법
종류
- 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)
- 플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhanced CVD, PECVD)
- 대기압 화학 기상 증착 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD) 방막증착종류
화학적 증착
물리적 기상증착
결론
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증착에는 적합하지 않다. 이 장에서는 화학적인 반응에 기초한 박막증착법을 소개하고자 한다. 화학 물질은 일반적으로 가스 상의 혼합물로 공급된다. 확실히 최종 산물의 화학적 결합상태는 공급된 가스와는 다르다.
화학기상증착법(CVD)
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법 ‥‥‥‥‥·‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥4
(1) 초저압 화학기상 증착법
(2) 열처리에 의한 재결정법
(3) 직접 증착법
(4) 엑시머 레이저 열처리법
ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥
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제 3 장. 실험 방법 30
제 1 절 기판 및 시약 준비 30
제 2 절 OTS 증착 31
제 3 절 MIS 커패시터의 제작 34
제 4 장. 실험 결과 38
제 1 절 누설전류 특성 38
제 2 절 펜타센 증착 표면 43
제 5 장. 결 론 51
참고문헌 52
Abstract 55
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법원 1986. 6. 10. 선고 83후2 판결.
특허권의 권리 또는 보호범위를 한정함에 있어서, 대법원은 수십 건에 있어서, 균등론적 접근방식을 취한 것을 볼 수 있다. 여기에서 몇 가지 특징을 찾아보면, 첫째, 이러한 대법원 판결은 모두 권리범위확인
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법에서 정하고 있다. 이에 대한 전문지식인들의 견해를 조사한 결과 하자담보 책임기간은 5년 이내(41%), 10년 이내(29%)로 시행하고 있는 규정에 만족한다는 의견이었다. 반면 완화가 필요하다(36%)라고 의견을 제시한 사람들도 있어 규정에 대한
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화학적흡착 뼈 -뇌 신티그라피
-뼈 신티그라피
-삼상골 영상기술
-위장관 출혈 신티그라피
-혈관종 신티그라피
-간 신티그라피
-비장 신티그라피
-동적 신장신티그라피
-Renal DMSA SCAN
-방광 신티그라피
-Testicular Scan
-난관 신티그라피
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리 방법과 adhesion layer 증착법이 있었는데, adhesion layer와 촉매를 하나의 장비에서 연속적으로 증착이 가능하므로 공정의 효율성을 고려하여 adhesion layer 증착법을 선택했습니다. 또한, 물질로는 OO 또는 XX이 있었는데, XX은 OO와는 다르게 촉매와
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기상증착장비(CVD) 개발을 서둘러 기존 트랙장비·매엽식 세정장비(SWP) 등과 함께 전공정 장비 분야를 확대할 계획을 가지고 있습니다. 저는 부가가치가 높은 주요 전공정 장비를 앞세워 시장을 개척하고 반도체 장비를 설계하겠습니다. 또 핵
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증착법에서 아이디어를 얻어 연구실 내 감압장치를 활용하고 해결할 수 있었습니다. 이는 마이크로 단위 유체에서 기포를 제거하기 위해 상대적 소수성 성질을 활용할 수 있었던 성공 요인으로 뽑혔습니다. 1. 삼성전자를 지원한 이유와
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증착 중 예기치 않은 파티클 발생을 책임지고 해결한 경험이 있습니다. 과제 평가 항목에
수율이 포함되어 있었기 때문에, 화학 기상 증착 과정에서 갑작스러운 파티클 발생은 치명적으로 다가왔습니다.
3.LG화학에서 이루고 싶은 나만의 꿈
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있는 다공성 전극, 전도성 고분자, 금속-유기 골격체(MOF) 기반 소재의 합성과 응용 연구를 수행토록 하겠습니다. 이를 위해 습식 화학 합성, 전기화학적 도금, 스프레이 열분해, 원자층 증착(ALD) 등의 기법을 활용하여 다양한 나노구조 소재를
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