|
C-V 측정 장비
모델명 4192A LF(5Hz∼13MHz) Impedance Analyzer로 C-V를 측정할 수 있는데, 이 장치의 전면부는 <그림30>과 같다.
<그림30> 4192A front panel features
3.4 C-V 측정으로 알 수 있는 parameter
한 번의 측정으로 여러 가지 parameter를 구할 수 있는
|
|
|
c-V 특성 곡선을 관찰한다.
4C-V 측정
1.샘플을 측정대에 고정시키고 probe로 게이트를 샘플에 접촉시킨다
2.BLP Folder (ENTER)
3.BASIC.EXE 실행 (ENTER)
4.F5(LOAD)을 실행 LOAD\"PNCV\"(ENTER)
5.F3(RUN)을 실행 INPUT FILE NAME? FILE name .dat (ENTER)
6.측정하고 싶은 값을 넣
|
|
|
sec)
- 고속 : 3500rpm (35sec)
③ soft bake(PR curing)
- 80℃ 1min (∵ PR(resin + solvent) solvent의 증발 → PR의 고형화)
④ 노광공정(UV-exposure) - 8초
⑤ 현상(development)
⑥ hard bake
4) Pt sputter 공정
5) C-V 및 I-V 측정
4. 결과 및 고찰
1) C/V 그래프
2) I/V 그래프
1) C-V 그
|
|
|
C-V Introduction
Ideal MOS Capacitor
구조
특징
Gate는 두꺼워서 언제나 등전위 영역
Oxide는 perfect Insulator
Oxide 내에서나 S/C-Oxide 계면에서 charge center 없다.
S/C는 uniform doping
S/C는 충분히 두꺼워서 gate potential을 가하든지 아니든지
bulk는 field-f
|
|
|
MS contacts C-V analysis
1-1. Non-annealing, 50kHz
C-V data
1/C^2 versus V plot
N-type device
1-2. Non-annealing, 100kHz
C-V data
1/C^2 versus V plot
N-type device
1-3. Non-annealing, 1MHz
C-V data
1/C^2 versus V plot
N-type device
1-4. Non-annealing, 비교/분석
C-V data
1/C^2 versus V plot
2-1. Anne
|
|
메뉴펼치기
