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시간 이후로는 Etching이 더 이상 진행하지 않을것이라고 예상한다.
6. 참고문헌
반도체 공정실험 Dry Etching 수업자료 PDF
화학용어사전 - 화학용어사전 편찬회, 윤창주, 2011. 1. 15, 일진사
반도체 공정플라즈마의 현황과 전망 한국물리학회 , 장홍
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1. 실험 목적
2. 실험 방법
1) Cleaning, Oxidation, Photolithography 공정을 마친 wafer 시료를 준비한다.
2) 시료의 표면을 FESEM으로 찍은 후 표면의 감광제 모형인 마스크 패턴을 확인한다.
(식각 전 패턴 사이즈 측정)
3) ICP 장비의 반응 Chamber에 시료를
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Cleaning한 후 Chamber를 내림)
(2)Process STB(Process Stand by)
(3)Process
(4)Boat Out
(5)System Stb
3. Photo Lithography
(1) Spin Coater 사용법
(2) Photo Resist(PR 용액 접합)
(3) Mask Aligner 사용방법
(4) PR Develop
4.RIE 장비 사용 (Dry Etching)
5. PVD(Physical Vapor Deposition)
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반도체 소자의 제작 등에 많이 사용된다.
Chemical의 종류와 비율, 온도에 의해 에칭속도가 영향을 받음 Etching(식각)이란?
Etching(식각)의 종류
Wet Etching(습식식각)
Wet Etching의 처리 방식
Wet Etching의 특성
각종 박막에 대한 Wet Etching의 적용
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반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 산화(oxidation) 공정
반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 화학기상증착(CVD) 공정
CVD 반응장치
에피택시(Epitaxy) 공정
* 액상 에피택시(LPE)
* 기상 에피택시(VPE)
식각(Ecthing) 공정
*건식 식각(dry etching)
웨이
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ppt/cah16.ppt
KAIST, http://vr.kaist.ac.kr/DMS_home/list/132.htm
한국정보통신기술협회, http://www.tta.or.kr/weekly/weekly_contents.jsp?id=224
유스팟, http://www.u-spot.co.kr/franchise/web/popup/u_info/sensor.html
S&C, http://www.esenci.com/wireless_homenet.html
광운대학교, http://adams.gwu.ac.kr/lec
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우선 삼성전자의 반도체 부문의 중장기 전망은 위와 같다.
매출액이 2006년도부터 소폭 하락 후 꾸준히 상승하고 있으며, 영업이익률 또한 2010년 최고치인 32%를 갱신하여 2013년에는 20%이상으로 꾸준한 이익을 얻을 것으로 기대된다.
문제는
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첫째 저는 반도체 및LED 공정에 대한 이해도가 높습니다.
② Cleaning/Dry Etching 단위 공정 Engineer로써 단위 공정 Set up
및 공정불량 개선(SEM/FIB이용) , CI , 신규공법 적용 및 Max. Capa.활동
둘째 저는 반도체/LED 신규 장비에 대한 공정 Set up 경험
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경력사항 - “나”는 어떤 사람인가?
대학생활동안의 경력사항 등을 작성
Customer Engineer란?
내가 생각하는 CUSTOMER ENGINEER의 정의 및 그 이유
Customer Engineer로서 강점과 역량
CUSTOMER ENGINEER로서 강점과 역량을 드러낼 수 있는 경험 제시
입사 후 포
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을 통해 반도체 물성과 반도체 공정 관련 지식을 쌓았고, 학부연구생 활동을 통해 반도체 장비의 중요성을 깨달았습니다. 또한, 엔지니어에게 필수적인 분석력과 문제해결능력을 길렀습니다.
둘째, Field Service Engineer의 직무 경험을 쌓기 위해
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은 비싼 가스의 사용량이 많다는 단점이 있었습니다. 따라서 기존의 가스를 대체할 다른 가스가 필요했습니다. 조사를 통해 OO이 XX가스보다 가격이 저렴하고, 공정의 속도도 향상시킬 수 있다는 자료를 발견했고 이를 기반으로 공정 최적화
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to Unit Process and development of Cleaning/Dry Etching Process
Forth, recently I finished 3D Products Modeling in Korea machinery industry Promotion Association institute about 4.5month. 1.PERSONAL DATA
2. EDUCATION:
3. EXPERIENCE
4. Career
5. Job ability Summary
6. Detailed Career Sum
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