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이용한 광 CVD법보다는 빠르지만 대면적화가 곤란하여 이것을 고려한 레이저광원이나 장치구성 개발이 필요하다. 1.실험목적
2.이론적배경
3.장치에 대한 원리와 방법
4.코팅과정과 반응장치.
5. 분석기구
6. CVD 기술과 종류
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증착하면서 잔류 응력이 생길 수 있는데 열처리나 기타 방법들을 이용하여 이를 해소시켜 주면 접착력이 향상될 것이다. 그리고
마지막으로 기판에 미세하게 흡집을 내어 마치 음식재료에 칼집을 내어 양념이 잘 베이게 하는 것처럼 접착력
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던 테이프위에도 Al이 증착되어 노란색이었던 테이프의 표면이 은백색으로 금속적 광택을 띄는 것을 볼 수 있었다.
이러한 사항으로 PVD는 Polymer로 이루어진 테이프의 표면에서도 증착이 될 수 있다는 것을 실험적으로 확인할 수 있었고, 또한
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증착된 다층 박막 물질은 장건익 교수님이 연구,개발하시는 진주안료를 비롯하여 도용방지 홀로그램이나 화장품 파우더의 미세 펄 등 여러 미용 방면에 쓰이고 있다.
과 목 명 : 재료공학실험
지도교수 : 장건익 교수님
학 과 : 신소재공학과
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피하고 있다.
3. 결론
기판에 증착된 박막의 두께는 0.34 이었다.
4. 참고문헌
‘현대물리학’ A.Beiser저, 정원모 번역.
‘고체전자공학’, Streetman, Ben G, 喜重堂, 1991.
전자재료실험 매뉴얼. 목적
이론
실험방법
결과및토론
결론
참고문헌
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