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표면과 PR간의 접착력 향상
→ HMDS 사용 반도체 (집적회로) 공정
Lithography 개요
Lithography
Lithography 과정
Clean Wafer
PhotoResist coating
PhotoResist
Bake
Mask 제작
Mask Alignment
Expose
Develop
Etching
Light Source
Optical lithography
Non-Optical Lithography
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개요
1.1 TFT 기술 개요
1.2 TFT 전체 제조 공정
2. TFT 단위공정 & 개선기술
2.1 TFT 단위공정 소개
2.1.1 박막증착 공정
2.1.2 식각 공정
2.1.3 포토리소그래피 공정
2.1.4 이온주입 공정
2.2 TFT 단위공정 개선기술 소개
2.2.1 박막증착 공
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2.반도체
3.N형 반도체와 P형 반도체
4.다이오드의 특성 곡선
5.제너다이오드에 의한 전압안정화
6.lithography기술
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lithography
(8) Lithography Resolution & Depth of Focus
(9) Lithography Tool vs Design Rule
(10) Cross-sectional View (130㎚ L/S)
(11) Proximity & Contact Lithography
(12) Projection Lithography
(13) Method of Projection Lithography
(14) Lithographic Exposure System
(15) 157nm Lithography 1.
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반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 2. 리소그래피(lithography)
1) 리소그래피란?
2) 리소그래피 기술의 개요
3) 리소그래피 장치의 분류
4) 리소그래피 방법
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