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전문지식 188건

1. 화학기상증착(CVD)법 - 화학기상증착(CVD)은 여러가지 물질의 박막제조에 있어서 현재 가장 널리 쓰이고 있는 방법이다. 간단히 말하면 반응기체의 유입 하에서 가열된 substrate 표면에 화학반응에 의해 고체 박막이 형성되는 것을 일컫는데,
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  • 등록일 2006.11.26
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CVD와 같은 화합물이 아닌 단원자 상태의 전구체를 사용해 박막을 형성하는 원차층 증착(Atomic Layer Deposition: ALD)법을 이용한 성막 공정이 차세대 반도체 소자 제조 공정에 중요하게 적용되기 시작하였다. ALD 공정은 전구체가 기판표면에 흡착
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  • 등록일 2008.12.21
  • 파일종류 한글(hwp)
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증착이란 액체가 증기로 되어 수송되고 성막되는 과정을 말하며,고체가 바로 증기가되어 수송되는 것을 승화라 하며,이것이 박막이 되는 기본 메커니즘이다. 박막의 제조방법 박막의 제조방법에는 음극 전해 성막법, 무전극 또는 무전기
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  • 등록일 2013.08.08
  • 파일종류 워드(doc)
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증착될 기판의 표면이 처음부터 깨끗하지 못했을 수도 있다. 이는 적절한 이물질 제거 기술로 해결할 수 있을 것이다. 실험장비 저성능 문제나 과정에서의 잘못 등은 더 성능이 좋은 장비와 실험법 숙달로 해결 할 수 있을 것이고 다른 부분에
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  • 등록일 2007.05.04
  • 파일종류 한글(hwp)
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증착되어 막을 형성하는 것이다. 아크 방전은 원리상 대기압에서도 일어날 수 있으나 진공에서 일어날 때 박막의 질이 훨씬 더 우수해진다. 음극 아크란 무엇인가? 음극 아크를 이용한 박막 증착법의 원리 음극 아크를 이용한 응
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  • 등록일 2008.12.29
  • 파일종류 피피티(ppt)
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논문 1건

법 ‥‥‥‥‥·‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥4 (1) 초저압 화학기상 증착법 (2) 열처리에 의한 재결정법 (3) 직접 증착법 (4) 엑시머 레이저 열처리법 󰊴 ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥
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  • 발행일 2010.01.16
  • 파일종류 한글(hwp)
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취업자료 2건

처리 방법과 adhesion layer 증착법이 있었는데, adhesion layer와 촉매를 하나의 장비에서 연속적으로 증착이 가능하므로 공정의 효율성을 고려하여 adhesion layer 증착법을 선택했습니다. 또한, 물질로는 OO 또는 XX이 있었는데, XX은 OO와는 다르게 촉매
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  • 등록일 2023.06.21
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증착법에서 아이디어를 얻어 연구실 내 감압장치를 활용하고 해결할 수 있었습니다. 이는 마이크로 단위 유체에서 기포를 제거하기 위해 상대적 소수성 성질을 활용할 수 있었던 성공 요인으로 뽑혔습니다. 1. 삼성전자를 지원한 이유와
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  • 등록일 2025.04.03
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  • 직종구분 산업, 과학, 기술직
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