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WHAT IS THIN FILM?
KIST Definition (1991)
- Thin Film : 기판층(substrate layer)에 형성된 수 m 이하의 두께를
갖는 것으로 독립적인 기능을 보유한 막.
ADVANTAGES OF THIN FILM
Complexibility and Accumulations
Easy processing
lm)
Easy Control of Thermal, Mechanical and Chemical Propert
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증착 메커니즘으로부터 발생하는 화합물의 분해 과정을 거쳐 원하는 물질의 박막을 화학적으로 형성하는 방법이다. 이에 따라 전구체가 중요한 인자로 작용하므로 적합한 전구체 선정이 중요하고, 반응용기 내에서 화학 반응을 일으키기 위
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법이다.
≪ … 중 략 … ≫
화학적 증착법의 종류
1)열분해법
도입된 가스를 가열된 기지 위에서 열분해하여 증착층을 형성하는 방법으로 금속 할로겐화물의 고온 열분해와 수소화합물, 카르보닐 및 금속 유기염의 저온 열분
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증착법에는 스퍼터링(Sputtering), 전자빔증착법(E-beam evaporation), 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법(PLD, Pulsed Laser Deposition) 등이 있다. 이 방법들이 공통적으로 PVD에 묶일 수 있는 이유
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증착하는 복합코팅(duplex coating)방식이 현재 물리증착 및 화학증착법에서 접착력 향상을 위해 널리 쓰이고 있다,
그리고 접착력이 우수한 중간층을 이용하는 방법이 있다. 연성물질을 중간층으로 형성시키는 경우에는 화학적 게터링 효과 및
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법 ‥‥‥‥‥·‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥4
(1) 초저압 화학기상 증착법
(2) 열처리에 의한 재결정법
(3) 직접 증착법
(4) 엑시머 레이저 열처리법
ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥
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제 3 장. 실험 방법 30
제 1 절 기판 및 시약 준비 30
제 2 절 OTS 증착 31
제 3 절 MIS 커패시터의 제작 34
제 4 장. 실험 결과 38
제 1 절 누설전류 특성 38
제 2 절 펜타센 증착 표면 43
제 5 장. 결 론 51
참고문헌 52
Abstract 55
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법원 1986. 6. 10. 선고 83후2 판결.
특허권의 권리 또는 보호범위를 한정함에 있어서, 대법원은 수십 건에 있어서, 균등론적 접근방식을 취한 것을 볼 수 있다. 여기에서 몇 가지 특징을 찾아보면, 첫째, 이러한 대법원 판결은 모두 권리범위확인
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법에서 정하고 있다. 이에 대한 전문지식인들의 견해를 조사한 결과 하자담보 책임기간은 5년 이내(41%), 10년 이내(29%)로 시행하고 있는 규정에 만족한다는 의견이었다. 반면 완화가 필요하다(36%)라고 의견을 제시한 사람들도 있어 규정에 대한
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화학적흡착 뼈 -뇌 신티그라피
-뼈 신티그라피
-삼상골 영상기술
-위장관 출혈 신티그라피
-혈관종 신티그라피
-간 신티그라피
-비장 신티그라피
-동적 신장신티그라피
-Renal DMSA SCAN
-방광 신티그라피
-Testicular Scan
-난관 신티그라피
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리 방법과 adhesion layer 증착법이 있었는데, adhesion layer와 촉매를 하나의 장비에서 연속적으로 증착이 가능하므로 공정의 효율성을 고려하여 adhesion layer 증착법을 선택했습니다. 또한, 물질로는 OO 또는 XX이 있었는데, XX은 OO와는 다르게 촉매와
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증착법에서 아이디어를 얻어 연구실 내 감압장치를 활용하고 해결할 수 있었습니다. 이는 마이크로 단위 유체에서 기포를 제거하기 위해 상대적 소수성 성질을 활용할 수 있었던 성공 요인으로 뽑혔습니다. 1. 삼성전자를 지원한 이유와
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있는 다공성 전극, 전도성 고분자, 금속-유기 골격체(MOF) 기반 소재의 합성과 응용 연구를 수행토록 하겠습니다. 이를 위해 습식 화학 합성, 전기화학적 도금, 스프레이 열분해, 원자층 증착(ALD) 등의 기법을 활용하여 다양한 나노구조 소재를
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화학적 특성을 분석하고 개선하는데 도움이 될 것입니다.
네 번째로 6시그마 그린벨트의 DMAIC를 바탕으로 화학공장 설계프로젝트에서 생산량과 수율을 개선시킨 경험이 있습니다. 이러한 저의 데이터 분석을 통한 공정개선 능력은 공정기술
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법(Raman Spectroscopy) 등을 활용하여 소재의 구조적 특성을 평가합니다.
전기화학적 분석: 전기화학적 임피던스 분광법(EIS), 순환 전압 전류법(CV) 등을 이용하여 소재의 전기화학적 성능을 측정합니다.
4) 기대 효과 및 향후 연구 방향
본 연구를
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