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1. 화학기상증착(CVD)법
- 화학기상증착(CVD)은 여러가지 물질의 박막제조에 있어서 현재 가장 널리 쓰이고 있는 방법이다. 간단히 말하면 반응기체의 유입 하에서 가열된 substrate 표면에 화학반응에 의해 고체 박막이 형성되는 것을 일컫는데,
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WHAT IS THIN FILM?
KIST Definition (1991)
- Thin Film : 기판층(substrate layer)에 형성된 수 m 이하의 두께를
갖는 것으로 독립적인 기능을 보유한 막.
ADVANTAGES OF THIN FILM
Complexibility and Accumulations
Easy processing
lm)
Easy Control of Thermal, Mechanical and Chemical Propert
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법을 이용한 성막 공정이 차세대 반도체 소자 제조 공정에 중요하게 적용되기 시작하였다. ALD 공정은 전구체가 기판표면에 흡착 후, 표면 반응에 의해 박막을 증착하기 때문에 표면 반응 이외에도 기상 반응이 발생하는 CVD 공정에 비해 계단
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증착되게 하는 것이다.
2) Thermal Evaporation으로 증착되는 발광재료에 대해 조사한다.
열 증착법은 저항가열식 기상증착법으로 불리며 이 방법은 고융점의 filamant, basket 또는 boat등의 열적 source가 필요하며, 특히 잘 쓰이고 있는 열적 source재료로
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화학 증착 증착법(CVD)
정의
- 열의 분해과정 및 기체 화합물의 상호작용에 의해 기판의 표면에 박막을
형성하는 증착법
종류
- 저압 화학 기상 증착 (Low Pressure CVD, LPCVD)
- 플라즈마 향상 화학 기상 증착 (Plasma Enhance
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법 ‥‥‥‥‥·‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥4
(1) 초저압 화학기상 증착법
(2) 열처리에 의한 재결정법
(3) 직접 증착법
(4) 엑시머 레이저 열처리법
ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥
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법제도와 적절한 연계보완 체제를 갖추기 위해서는 「감천항 국제수산물 종합보세구역 관리시스템」제도가 필수적인 것으로 판단하였으며, 필요한 시스템의 사전 검토를 통해, 종합보세구역에서 어떤 유형 및 내용의 물류관리시스템이 구
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법과 여러 가지 규칙을 가르쳐 줄 지도자가 필요하다. 해양레저스포츠를 위한 프로그램은 계절별, 연령별, 영역별로 다양하게 개발, 보급할 필요가 있으나, 특히 미래의 수요자인 청소년을 위한 체험 프로그램 개발이 시급하다 하겠다. 아울
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법 제정방향”, 지속가능교통물류발전 입법공청회 자료집, 한국교통연구원국토해양부, 2008
국립환경과학원, “국가대기오염 배출량 연보”, 2005
국립환경과학원, “수도권 대기질 개선대책 추진에 따른 CO2 감축효과 분석”, 2006
국토해양부,
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리 방법과 adhesion layer 증착법이 있었는데, adhesion layer와 촉매를 하나의 장비에서 연속적으로 증착이 가능하므로 공정의 효율성을 고려하여 adhesion layer 증착법을 선택했습니다. 또한, 물질로는 OO 또는 XX이 있었는데, XX은 OO와는 다르게 촉매와
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기상증착장비(CVD) 개발을 서둘러 기존 트랙장비·매엽식 세정장비(SWP) 등과 함께 전공정 장비 분야를 확대할 계획을 가지고 있습니다. 저는 부가가치가 높은 주요 전공정 장비를 앞세워 시장을 개척하고 반도체 장비를 설계하겠습니다. 또 핵
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증착법에서 아이디어를 얻어 연구실 내 감압장치를 활용하고 해결할 수 있었습니다. 이는 마이크로 단위 유체에서 기포를 제거하기 위해 상대적 소수성 성질을 활용할 수 있었던 성공 요인으로 뽑혔습니다. 1. 삼성전자를 지원한 이유와
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증착 중 예기치 않은 파티클 발생을 책임지고 해결한 경험이 있습니다. 과제 평가 항목에
수율이 포함되어 있었기 때문에, 화학 기상 증착 과정에서 갑작스러운 파티클 발생은 치명적으로 다가왔습니다.
3.LG화학에서 이루고 싶은 나만의 꿈
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법을 제시하며 문제 해결을 시작했습니다. 기상 데이터와 해양 상태를 실시간으로 반영한 AI 알고리즘을 사용하여 항로의 효율성을 높일 수 있는 방안을 도출하였습니다. 또한, 항로 중간의 안전성을 고려한 대체 경로 제시를 통해 연료 소비
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