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장비와 실험법 숙달로 해결 할 수 있을 것이고 다른 부분에서 접착력을 향상시킬 수 있는 방법에 대해 알아본다.
표면질화, 표면탄화 및 표면산화 등 증착 전처리를 한후 피막을 증착하는 복합코팅(duplex coating)방식이 현재 물리증착 및 화학증
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3. PVD 종류
3.1 PVD 종류
3.2 증발 (아크증발법)
3.3 이온도금 (이온주입법)
3.4 스퍼터링
3.4.1 강화된 스퍼터링
4. PVD 장비
5. 진공의 필요성
6. 박막 성장 기구
7. PVD 코팅층의 미세구조
8. PVD 적용 예
9. 제조공정
10. 최근 연구 동향
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증착되는 것이다. 1. 증착 및 기상증착법의 정의
2. CVD (화학 기상 증착법, Chemical Vapor Deposition)
- 원 리 -
- 특 징 -
1) 장 점
2) 단 점
2. PVD(물리증착법. Physical Vapor Deposition)
1) PVD(Physical Vapor Deposition)
1) 이온 플레이팅(lon Plating)
2) 스퍼
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PVD 종류
3.1 PVD 종류
3.2 증발 (아크증발법)
3.3 이온도금 (이온주입법)
3.4 스퍼터링
3.4.1 강화된 스퍼터링
4. PVD 장비
5. 진공의 필요성
6. 박막 성장 기구
7. PVD 코팅층의 미세구조
8. PVD 적용 예
9. 제조공정
10. 최근 연구 동향
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장비가 비싸고 증착 속도가 느려 CVD 보다 비경제적이다.
■ 참고문헌
http://palgong.knu.ac.kr/~cvdlab/lecture.htm
http://igreenwe.hihome.com/old/vacu.htm
http://www.hanvacuum.co.kr/frame1.htm
http://www.e-cerakorea.co.kr/tech.htm
http://www.postech.ac.kr/ce/lamp/main.html 1. 토리첼리
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