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R22 냉매를 대체할 수 있는, 상기 사항들을 고려할 때 R404a로 대체하는 것이 적합한
것으로 검증 됨. 1. 공정 대응 흐름도
2. Chiller & Heat Exchanger 사양서
PE CVD : JUSUNG
Dry Etch : TEL, ADP, ICD
3. 설치 실적
4. Chiller & Heat Exchanger 특장점
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❑ 냉동 Cycle의 이해
≪ 그 림 ≫
증발기(Evaporator)
:저압의 냉매는 증발기
에서 주위의 열을 흡수
하여 증발하고 중온
저압가스가 되어 압축기
로 되돌아온다.
≪ 그 림 ≫
압축기(Compressor)
:열을 함유한 저압가스는
압축기에
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75
0.000538313485
0.0454922501
C6PLUS
1.62E-05
0.00380192507
0.00380192507
1.62E-05
0.0180457474
<Table 2. Material Balance (Part.2) Pipeli-gas(S9) to S13>
Stream Name
S14
S15
S16
S17
S18
S19
S20
S22
Stream Description
Phase
Mixed
Liquid
Vapor
Vapor
Liquid
Vapor
Vapor
Liquid
Temperature [℃]
-
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▶ Descriptions :
Chiller is an automatic regulator controlling the temperature inside the wafer etching chamber. It is imperative semiconductor manufacturing equipment to produce high quality wafers
▶ Characteristics :
1) Temp. Range : -50℃ ~ +180℃
2) Temp. Stability : ±0.1℃
3) Safety
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Vapor compression chillers
Reciprocating compressor chillers
Rotary helical screw compressor chillers
Rotary scroll compressor chillers
Centrifugal turbo compressor chillers
Absorption chillers
Direct fired(냉온수기)/Indirect fired(중온수/증기 흡수식 냉동기)
Single/double effect 없음
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질,연질 우레탄 발포용
CHCIFCF ₃:냉매:Chiller에사용할 수 있는 냉매제 희석제:살균가스에서 R-12대체품 절연제:경질 폼 절연제로서 R-11,R-12대체품
CH ₂FCF₃:냉매:자동차에어컨,산업용 냉장 발포제: 폴리스틸렌, 폴리우레탄 발포용 분사제: Aerosol
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chiller)” 분야와 “터보압축기(centrifugal air/process compressor)” 분야로 구분할 수 있다. 터보냉동기는 증발기와 압축기, 그리고 응축기와 팽창기로 구성되는 냉동사이클에서 압축기를 원심압축기로 이용하는 산업기계로서 주로 사무용 빌딩이나
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Chiller, 클린룸설비, 반도체 배관설비 등
반도체를 만드는 장비인 후공정장비업체
반도체 후공정 장비
- 검사장비 - Test Handler, Chip Mounter, Burn-in System 등
- 기타장비- 패키징 장비 (몰딩, 트리밍, 포밍), 레이저 마킹장비 등
반도체를 만드
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RPM = 분당 회전수
IC = 내부 챔버 압력, psi
UC = 상부 챔버 압력, psi
RR = 링 압력 유지, psi
EC = 외부 챔버 압력, psi
PSI = 평방 인치당 파운드
Pl = 플래튼
Lbf = 파운드 포스
WIW 범위 = 웨이퍼 범위 내
웨이퍼의 최대 두께와 최소 두께의 차이를 찾
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기존 사용중인 조인트의 수명은 2-3년 정도이나 이 제품은 5년 사용 가능.
유지 보수 비용 20%이상의 원가 절감이 가능하며, 공급가 또한 기본 제품보다 저렴함.
확실한 품질 보증 및 A/S를 보장
Basic specification은 기준으로 비교 분석하여 제
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