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1. 단결정 성장 과정
고순도로 정제된 실리콘 용융액에 SEED 결정을 접촉, 회전시키면서 단결정 규소봉(INGOT)을 성장시키는 과정 1. 단결정 성장 과정
2. 규소 봉 절단
3. 웨이퍼 표면 연마
4. 회로설계
5. 마스크 제작
6. 산화 공정
7.
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스위치를 켜면 전구에 불이 들어온다.
= 전기가 통한다.
= 전류가 흐른다.
= 철사는 도체(導體)
스위치를 켜도 전구에 불이 안 들어온다.
= 전기가 안 통한다.
= 전류가 흐르지 않는다.
= 유리는 부도체(不導體)
이렇게 철사처럼
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중성자 그리고 (-)전하를 띄고있는 전자로 구성되어 있다. 1.반도체 재료 및 성질
2.반도체 소자 기초
3 Intergrated Circuit의 발달과정 및 산업에 미치는 영향
4 IC 제품
5 칩제조개요
6 웨이퍼제조
7마스크 제조
8 웨이퍼공정
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웨이퍼 기판 위에 모든 소자 제작이 완료된 후에 이들을 상호 연결하여 회로 기능
을 갖도록 하는 기술을 금속화라 한다.
■ 마무리 공정 및 테스트
○합금 및 어닐링
- 웨이퍼 표면 위에 알루미늄으로 금속 배선막을 형성하는 금속화 공정 후
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웨이퍼상에 있는 각각의 칩(chip)을 사용할 수 있는 형태로 “외관상 완성하는 공정”이다. 즉, wafer상태의 chip을 개별화하여 plastic이나 ceramic 등으로 감싸며 전기적인 신호가 chip에서부터 package 외부까지 전달이 가능하도록 금속 wire로 연결시
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