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로타리 베인 펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어펌프
4) 피스톤 펌프
5) 다이아 후렘 펌프
6) 루츠 펌프
7) 수봉식 펌프
8) 터보 분자 펌프
9) 확산펌프
10) 이젝타 펌프
11) 흡착펌프
12) 이온펌프
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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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펌프의 종류
3. 진공펌프의 원리
① 로타리 베인 펌프
② 로타리 피스톤 펌프 ③ 로타리 기어펌프
④ 피스톤 펌프
⑤ 다이아 후렘 펌프
⑥ 루츠 펌프
⑦ 수봉식 펌프
⑧ 터보 분자 펌프
⑨ 확산펌프
⑩ 이젝타 펌프
⑪ 흡착펌프
⑬ 게터
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이온화 게이지는 고장이 나서 직접 만져 보지는 못했지만, 레포트를 쓰면서 그에 대한 자료를 찾게 되었고 그래서 그 작동 원리를 알게 되었다.
진공을 만드는 펌프 또한 여러 가지인 것을 알았고 그 중 로터리 펌프와 오일 확산 펌프에 대해
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PUMP)
*확산 펌프 (DIFFUSION PUMP)
*이젝타펌프 (STEAM EJECTOR/GAS EJECROR)
*흡착 펌프 (ABSORPTION PUMP)
*이 온 펌프 ( ION PUMP)
*게터 펌프 (GETTER PUMP)
*승화펌프 (SUBLIMATION PUMP)
*저온 펌프 (CRYO PUMP)
♡진공 펌프의 원리
1. 로타리 베인 펌프 ( Rotary V
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Ion 주입 (O2) : 산화물
증기압 곡선에서 보면 수증기(H2O)는 Cryo면의 온도가 130K이라 하면 증기압은 10-8Pa 이하로 되기 때문에 80K이하로 냉각된 Shield와 Buffle에 응축하여 배기되는 것이다.질소(N2),산소(O2),아르곤(Ar)등의 기체는 80K에서는 증기압이
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로타리펌프로 공기를 빼기 시작하면서 디피션 펌프를 가열해준 뒤 2차로 가열된 디피션 펌프의 벨브를 열어서 남은 공기를 빼내 초기진공을 잡아야했던 것이나 컴펙트게이지에서 이온게이지로 넘겨서 게이지를 확인해야했던 것들이 복잡한
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펌프(Pump)
1) 진공 펌프
2) 사용 목적과 효과
3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
① 작동 압력 여부에 따른 분류
② 작동원리에 따른 분류
6) 저진공 펌프
로타리 베인 펌프 (Rotary vane pump)
7) 고진공 펌프
오일확산 펌
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펌프(Pump)
1) 진공 펌프
2) 사용 목적과 효과
3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
① 작동 압력 여부에 따른 분류
② 작동원리에 따른 분류
6) 저진공 펌프
로타리 베인 펌프 (Rotary vane pump)
7) 고진공 펌프
오일확산 펌
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Pump를 끈다.( 30분 정도를 기다린다.)
-- Diffusion 펌프가 완전히 식었을 때.
30) Foreline valve를 닫는다.
31) 로타리 펌프를 끈다.
32) Main Power를 끈다.
33) 냉각수를 잠근다.
--- 실험을 계속하려면 26번에서 12번으로 되돌아간다.
이 과정이 다 종료되면 ma
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