|
펌프사이에 설치되어 로타리펌프 오일의 역류를 막아 주어야 오일을 사용하지 않는 냉온펌프의 장점을 살리게 된다. 또한 포획펌프이기 때문에 다른 고진공펌프와는 달리 보조펌프(backing pump)의 개념이 없다. 로타리펌프는 진공용기 및 냉온
|
|
|
진공 영역의 구분
■ 저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
•
|
|
|
진공도의 단위
3. 절대 진공도와 게이지 상의 진공도
4. 진공펌프의 용량 단위
5. 진공도에 따른 진공 영역의 구분
6. 진공펌프의 종류
7. 진공 펌프의 원리
1) 로타리 베인 펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어
|
|
|
진공을 만드는 펌프 또한 여러 가지인 것을 알았고 그 중 로터리 펌프와 오일 확산 펌프에 대해 자세히 알게 되었고 각 기기에 대한 진공을 만들 수 있는 영역 대와 작동 원리, 사용 방법 등을 알 수 있게 되었고 진공 증착에 대한 장단점을 알
|
|
|
로타리펌프로 공기를 빼기 시작하면서 디피션 펌프를 가열해준 뒤 2차로 가열된 디피션 펌프의 벨브를 열어서 남은 공기를 빼내 초기진공을 잡아야했던 것이나 컴펙트게이지에서 이온게이지로 넘겨서 게이지를 확인해야했던 것들이 복잡한
|
|
|
진공 영역에서 배속도가 매우 크므로, 우주선 실험등 여러 분야에서 높은 진공도를 얻는데 많이 쓰이고 있다.
목차
1. 진공도에 따른 진공 영역의 구분 및 사용영역
2. 진공펌프의 종류
3. 진공펌프의 원리
① 로타리 베인 펌프
② 로타리 피
|
|
|
진공게이지 ♡진공펌프의 종류
*건식 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP)
*만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP)
*순환 급유식 로타리베인 펌프 (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP)
*배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -T
|
|
|
진공 펌프(Pump)
1) 진공 펌프
2) 사용 목적과 효과
3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
① 작동 압력 여부에 따른 분류
② 작동원리에 따른 분류
6) 저진공 펌프
로타리 베인 펌프 (Rotary vane pump)
7) 고진공 펌프
오일확
|
|
|
진공 펌프(Pump)
1) 진공 펌프
2) 사용 목적과 효과
3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
① 작동 압력 여부에 따른 분류
② 작동원리에 따른 분류
6) 저진공 펌프
로타리 베인 펌프 (Rotary vane pump)
7) 고진공 펌프
오일확
|
|
|
Pump를 끈다.( 30분 정도를 기다린다.)
-- Diffusion 펌프가 완전히 식었을 때.
30) Foreline valve를 닫는다.
31) 로타리 펌프를 끈다.
32) Main Power를 끈다.
33) 냉각수를 잠근다.
--- 실험을 계속하려면 26번에서 12번으로 되돌아간다.
이 과정이 다 종료되면 ma
|
|
메뉴펼치기
