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Discharge
1.1 Structure of DC Plasma
1.2 I-V characteristics of DC glow discharge
1.3 Voltage Distribution in DC glow discharge
2. Maintenance of the Discharge
2.1 Secondary Electron Emission
3. Three regions
3.1 Cathode Region
3.2 Anode Region
3.3 Glow Region
4. Paschen’s law
Ⅲ. RF D
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RF modulated discharge is calculated using a simplified model and the typical plasma parameters. It is confirmed from the calculated and the experimental results that the particulate displacement from trap is dependent on the duty ratio and the particulate size.
The effect of an electrically biased
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discharge를 이용하는 물리증착과정의 총칭이라 할 수 있다. 이온 플레이팅도 스퍼터링과 비슷하게 플라즈마를 사용한 증착공정이지만 스퍼터링과는 달리 보통 증착하고자 하는 물질을 증발 법으로 기상화한 뒤 reactive gas나 불활성 기체들과 함
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RF가 이용될 수 있다. RF를 사용할 경우 전장의 진폭과 방향이 다양하기 때문에 한 주기 내에서 플라즈마 내의 전자들이 받는 힘이 변하게 된다(한 주기의 일부분에만 true magnetron behavior가 존재). 따라서 플라즈마 내에서 행동하는 전자들의 힘
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discharge 대하, 질분비물
Vaginal spotting 점상질출혈
Vaginitis 질염
Varicos vein 정맥류성 정맥
Vasectomy 정관절제수술
VD venereal disease 성병
V/D vaginal dilivery 질식 분만
VE vaginal examination 질검사
VE vacuum extraction 흡입 분만
Vernix caceosa 태지
Vertex 두정
Viabilit
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